คุณสมบัติที่สำคัญอย่างหนึ่งของเลเซอร์แก๊สก็คือสื่อเลเซอร์นั้นเป็นส่วนผสมของก๊าซหรือก๊าซบริสุทธิ์เพียงชนิดเดียว ดังนั้นจึงมีข้อกำหนดพิเศษสำหรับความบริสุทธิ์ของส่วนประกอบของก๊าซผสมเลเซอร์ และกระบอกเหล็กที่ใช้ในการบรรจุก๊าซผสมจะต้องทำให้แห้งก่อนบรรจุเพื่อป้องกันการปนเปื้อนของก๊าซผสม หากเลเซอร์ฮีเลียม-นีออนถือเป็นเลเซอร์แก๊สรุ่นแรก เลเซอร์คาร์บอนไดออกไซด์ก็เป็นเลเซอร์แก๊สรุ่นที่สอง เลเซอร์ KrF ซึ่งใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สามารถเรียกได้ว่าเป็นเลเซอร์รุ่นที่สาม
