บทนำเกี่ยวกับแก๊ส
เอทิลไซเลนเป็นสารประกอบอนินทรีย์ที่มีสูตรทางเคมี Si2H6 เป็นก๊าซไม่มีสี โปร่งใส และเป็นพิษ มีกลิ่นไม่พึงประสงค์และระคายเคืองที่อุณหภูมิและความดันห้อง มีคุณสมบัติทางเคมีคล้ายกับไซเลน แต่ปฏิกิริยาของมันแข็งแกร่งกว่าไซเลน มันไม่เสถียรมากกว่าไซเลนและค่อยๆสลายตัวเป็นไซเลนและไฮโดรเจนที่อุณหภูมิห้อง สลายตัวเป็น SiH4, SinHm, H2 ที่ 300-500 ℃ และยังสลายตัวภายใต้แสง ส่วนใหญ่ใช้ในเซลล์แสงอาทิตย์, หลอดหมุนไวแสง, ฟิล์มซิลิคอนอสัณฐาน, การเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว, ฟิล์มออกไซด์, ฟิล์มไนไตรด์, การสะสมไอสารเคมี และด้านอื่น ๆ
คุณสมบัติพื้นฐาน
เอทิลไซเลนเป็นของเหลวใสไม่มีสีที่ติดไฟได้เองในอากาศ โดยมีจุดติดไฟต่ำกว่าอุณหภูมิห้อง เมื่อสัมผัสกับอากาศ จะลุกไหม้และสลายตัวเป็น SiH4 และ H2 ทันที ช่วงความเข้มข้นของการเผาไหม้กว้าง และเมื่อความเข้มข้นสูงกว่า 0.2% เปลวไฟจะถูกปล่อยออกมาระหว่างการเผาไหม้ เมื่อความเข้มข้นต่ำกว่า 0.2% จะเกิดปฏิกิริยาออกซิเดชันเพื่อสร้าง SiO2 สีขาว การเผาไหม้ระเบิดในก๊าซคลอรีน ทำปฏิกิริยาระเบิดกับก๊าซฮาโลเจน แต่ถ้าที่อุณหภูมิต่ำ ให้ทำปฏิกิริยาฮาโลเจนในระดับปานกลาง หากสัมผัสกับ SF6 มันจะระเบิด ทำปฏิกิริยารุนแรงกับคาร์บอนเตตระคลอไรด์และคลอโรฟอร์ม. ทำปฏิกิริยาและสลายตัวกับโลหะอัลคาไลและโลหะผสมของปรอทเพื่อผลิตไซเลนและไฮโดรเจน ทำปฏิกิริยากับโพแทสเซียมที่มีฤทธิ์กัดกร่อนเพื่อให้ H2 เป็นอิสระ มันไม่ทำปฏิกิริยากับน้ำบริสุทธิ์และกรด แต่ทำปฏิกิริยากับอัลคาไลเพื่อผลิตซิลิเกตและไฮโดรเจน แม้แต่การมีอัลคาไลในปริมาณเล็กน้อยที่ละลายจากแก้วก็อาจทำให้เกิดไฮโดรไลซิสของอีเทนได้ เมื่อมีสิ่งเจือปน KH หรือ LiCl จะสลายตัวช้าๆ ที่อุณหภูมิห้อง
Si2H6- → SiH4+(SiH2) x
เอทิลไซเลนละลายได้ในคาร์บอนไดซัลไฟด์ เอทิลแอลกอฮอล์ เบนซีน และกรดเอทิลซิลิซิก มันกัดกร่อนยาง เนย สารหล่อลื่น ตะกั่ว ฯลฯ แต่ไม่กัดกร่อนโลหะส่วนใหญ่
การใช้งานหลัก
1. ใช้ในเซลล์แสงอาทิตย์ หลอดหมุนไวแสง ฟิล์มซิลิคอนอสัณฐาน การเจริญเติบโตของเยื่อบุผิว ฟิล์มออกไซด์ ฟิล์มไนไตรด์ การสะสมไอสารเคมี และสาขาอื่น ๆ ในการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ อัตราการสะสมของเอทิลีนไซเลนบนเวเฟอร์ซิลิคอนอสัณฐานจะเร็วกว่าไซเลนมาก และสามารถลดอุณหภูมิได้ 200-300 ℃ ในการฝังไอออน การใช้อีเทนเป็นแหล่งไอออนมีแนวโน้มที่จะเรืองแสงและมีกระแสลำแสงที่แรงกว่า ส่งผลให้ได้ผลลัพธ์ที่ดีกว่าการใช้ก๊าซอื่นเป็นแหล่งไอออนอย่างมาก
2. ในเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ มันถูกใช้สำหรับกระบวนการเอพิแทกเซียลและการแพร่กระจาย เช่นเดียวกับดรัมไวแสงที่ใช้ในเซลล์แสงอาทิตย์และการถ่ายภาพอิเล็กทรอนิกส์
