ผล
ในตระกูลแก๊สอิเล็กทรอนิกส์ ไซเลน ฟอสเฟน โบเรน และอาร์เซนถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลาย และเป็นวัตถุดิบที่สำคัญอย่างยิ่งสำหรับการผลิต IC ฟอสโฟเคนเป็นแหล่งยาสลบชนิด N ที่สำคัญในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ และยังใช้ในกระบวนการต่างๆ เช่น การตกตะกอนไอสารเคมีโพลีซิลิคอน วัสดุ GaP ใน epitaxial การฝังไอออน กระบวนการ MOCVD และการเตรียมฟิล์มแบบพาสซีฟบนแก้วฟอสโฟซิลิกอน (PSG)
PH3 ไวไฟ ระเบิดได้ เป็นพิษสูง โดยมีระดับความเป็นพิษ PEL/TLV 0.3ppm, STEL 1ppm, LC50 20ppm, IDLH 200ppm เป็นสารอันตรายที่มีพิษสูง
การตอบสนองฉุกเฉินและการกำจัด
1、 การตอบสนองฉุกเฉินการรั่วไหล
อพยพบุคลากรออกจากพื้นที่ปนเปื้อนไปยังต้นลมอย่างรวดเร็ว และแยกออกจากกันทันทีเป็นระยะทาง 450 เมตร โดยมีข้อจำกัดการเข้าออกอย่างเข้มงวด ตัดแหล่งกำเนิดไฟ. ขอแนะนำให้เจ้าหน้าที่ฉุกเฉินสวมเครื่องช่วยหายใจแบบมีแรงดันบวกและชุดป้องกัน ตัดแหล่งที่มาของการรั่วไหลให้มากที่สุด การระบายอากาศที่เหมาะสมและการแพร่กระจายแบบเร่ง เจือจางและละลายด้วยน้ำสเปรย์ สร้างเขื่อนหรือขุดหลุมเพื่อกักเก็บน้ำเสียจำนวนมาก หากเป็นไปได้ ให้ใช้พัดลมดูดอากาศเพื่อส่งก๊าซที่รั่วไหลไปยังพื้นที่เปิดโล่ง หรือติดตั้งหัวฉีดที่เหมาะสมเพื่อเผาก๊าซออก ภาชนะบรรจุที่รั่วไหลควรได้รับการจัดการ ซ่อมแซม และตรวจสอบอย่างเหมาะสมก่อนใช้งาน
2、 มาตรการป้องกัน
การป้องกันระบบทางเดินหายใจ: ภายใต้สภาวะการทำงานปกติ ให้สวมหน้ากากป้องกันแก๊สพิษแบบกรองแล้ว (หน้ากากแบบเต็มหน้า) ในสภาพแวดล้อมที่มีความเข้มข้นสูง จำเป็นต้องสวมเครื่องช่วยหายใจแบบใช้อากาศหรือเครื่องช่วยหายใจแบบออกซิเจน ขอแนะนำให้สวมเครื่องช่วยหายใจระหว่างการช่วยเหลือฉุกเฉินหรือการอพยพ
การป้องกันดวงตา: สวมแว่นตานิรภัยสารเคมี
การป้องกันร่างกาย: สวมแจ็คเก็ตป้องกันแก๊สพิษแบบหน้ากาก
การป้องกันมือ: สวมถุงมือยาง.
อื่นๆ: ห้ามสูบบุหรี่ รับประทานอาหารและดื่มเครื่องดื่มในสถานที่ทำงานโดยเด็ดขาด หลังเลิกงานอาบน้ำเปลี่ยนเสื้อผ้า รักษานิสัยด้านสุขอนามัยที่ดี การเข้าไปในแทงค์ พื้นที่จำกัด หรือพื้นที่ที่มีความเข้มข้นสูงในการทำงาน จะต้องได้รับการดูแลจากบุคคลอื่น
3. มาตรการปฐมพยาบาล
การสูดดม: ให้เคลื่อนย้ายออกจากที่เกิดเหตุอย่างรวดเร็วไปยังสถานที่ที่มีอากาศบริสุทธิ์ รักษาความแจ้งชัดของทางเดินหายใจ หากหายใจลำบาก ควรให้ออกซิเจน หากหยุดหายใจ ให้ทำการช่วยหายใจทันที ไปพบแพทย์.
วิธีการดับเพลิง: นักผจญเพลิงต้องสวมหน้ากากป้องกันแก๊สพิษชนิดกรอง (หน้ากากแบบเต็มหน้า) หรือเครื่องช่วยหายใจแบบแยกส่วน สวมชุดป้องกันไฟและแก๊สทั้งตัว และดับไฟเหนือลม ตัดแหล่งอากาศออก หากไม่สามารถตัดแหล่งกำเนิดก๊าซได้ทันที ไม่อนุญาตให้ดับก๊าซที่ลุกไหม้ ฉีดน้ำเพื่อทำให้ภาชนะเย็นลง และถ้าเป็นไปได้ ให้ย้ายภาชนะออกจากกองไฟไปยังพื้นที่เปิดโล่ง สารดับเพลิง: ฉีดน้ำ, โฟม, ผงแห้ง, คาร์บอนไดออกไซด์.
